序號

   故障原因

   產(chǎn)生原因

  原因以及排除方法

 1

蝕刻深度不夠

蝕刻溫度太低

加溫蝕刻液

蝕刻時(shí)間太短

適當(dāng)延長蝕刻時(shí)間

蝕刻溶液老化，濃度低

增加新的蝕刻液

 2

防蝕層脫落

蝕刻液溫度太高

降低蝕刻液溫度

防蝕層制作不良

加強(qiáng)蝕刻制作管理

油墨存放時(shí)間過長，失效

更換新油墨

二次曝光時(shí)間太短

延長二次曝光時(shí)間

顯影后烘烤溫度太低或時(shí)間太短

提高烘烤溫度或延長時(shí)間

預(yù)處理不良

加強(qiáng)質(zhì)量管理

 3

防蝕層邊緣變脆起層

二次曝光時(shí)間太長

適當(dāng)縮短二次曝光時(shí)間

 4

蝕刻表面有印跡

酸洗溶液氟化物含量不夠

添加氟化物

酸洗時(shí)間太短

延長酸洗時(shí)間

蝕刻溶液失調(diào)

分析蝕刻溶液

材料質(zhì)量原因

更換材料

 5

    平滑度差

雜質(zhì)含量太高

更換溶液

三氯化鐵質(zhì)量差

選擇質(zhì)量好的三氯化鐵

活化不良

加強(qiáng)活化過程

添加劑含量不足

定期補(bǔ)加添加劑

氯離子濃度太高

添加硝酸或硝酸氨

磷酸離子濃度低

添加磷酸

材料晶粒粗大

更換材料